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无锡华瑛微电子技术有限公司
发布时间:2017-04-21    作者:admin    文章来源: 科技合作部

一、企业简介

无锡华瑛微电子技术有限公司成立于2008年,是一个勇于创新,敢于挑战世界先进水平,坚守绿色制造环保理念,旨在引领半导体制造绿色化的技术创新型企业。
公司至成立以来一直致力于世界首创的“动态薄层晶圆表面化学处理技术和设备”的研发,针对半导体芯片制造中的晶圆表面清洗、刻蚀及表面定性等工艺所面临的技术问题及ESH挑战,设计、制造和开发具技术功能领先、可灵活应用、且低拥有成本、低资源消耗、低生产废物排放的新型晶圆表面化学处理设备和工艺。
公司拥有一个具有国际先进水平的超净实验室及检测方法和质量管理系统。有百级,千级,万级超净室近200平方米。配备有1台美国安捷伦和1台美国热电的ICP-MS设备,用于超量元素的定量检测。2台美国戴安的离子色谱设备,用于微量阴阳离子的检测。
公司秉承中华传统文化:脚踏实地做事,老老实实做人,厚积薄发,一步一个脚印地推动动态薄层创新技术的研发及新设备的设计、制造和应用。尽可能地追求完美,目标是研发出有个性,有品位,有世界水平的产品。

二、核心技术

动态薄层晶圆表面化学湿处理技术和设备。动态薄层技术设备和新工艺可应用于新、旧芯片制造厂的晶圆表面湿处理。其与众不同的独特能力能解决现有设备面临的技术问题和ESH挑战。同时还能简化生产流程、降低工厂建设、运行、维护成本,解决中国快速发展半导体制造业一定会面临的水资源、环境保护、知识产权问题,为中国半导体制造业尽快赶超世界先进水平提供捷径。在中国和国际市场将有长远的发展空间。

三、产品介绍

公司目前已完成2个系列产品的产品化,并已通过客户验证:
1.A系列产品用于6寸至12寸晶圆的表面清洗、钝化、去胶和湿刻蚀等。该产品占地面积小(<1m2), 可不受限制的选择化学处理配方,其中包括有机易挥发化学药品及气液混合流体;能精确控制化学处理液在晶圆表面的流动形式和快速改变化学反应条件;大幅度降低处理液的消耗,能节省超纯水90%以上、节省化学处理液70%以上。
2.B系列产品用于6寸至12寸晶圆表面的微量化学污染的提取和定性定量检测,避免人工操作有可能引入的过程污染,提高检测的准确性和重复性。我们亦可根据客户的特殊需求量身定制。

华瑛微电子官方网站:www.huayingmicro.com


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